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Q. 반도체 칩 결함 질문

네모네모빔세모세모빔

웨이퍼에서 center die가 노광도 제대로 되고 PR도 고르게 분포되어서 결함이 적고 엣지로 갈수록 결함이 많아진다는데 실제로도 그런가요...?


2025.03.10

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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